ER-V 新款超小型、高性能靜電除消器 update : 2004/07/31

特點:
同級品中最好,超高速,高精度靜電消除器
防止晶圓搬運時的靜電干擾
防止膠帶切斷後的條形痕跡
防止噴漆塗裝時的灰塵附著
防止薄膜成形時的灰塵附著
防止繼電器組裝時的雜質附著
IC 板的靜電消除

主要規格:
 型號 ER-VS01
 電荷卸載時間
( ±1000V→±100V)
1 秒以下
 離子平衡  ± 15V 以下
 臭氧產生量 0.03 ppm 以下
 使用流體 空氣 (乾燥清潔空氣)
 供應空氣流量 500 l/min. (ANR 以下)
 氣壓範圍 0.05 ~ 0.7 MPa

 電源電壓

24 VDC ± 10%
 消耗電流 70 mA 以下
 放電方式 高頻交流
 放電輸出電壓 約 2000 V 
 檢查輸出(CHECK)

輸出工作
短路保謢
NPN 開路集電極晶體管
•最大流入電流:50 mA
•外加電壓:30 VDC 以下(檢查輸出和 0V 之間)
•剩餘電壓:1 V 以下(流入電流 50mA時)
檢測到放電針上有灰塵或磨損時 ON,正常時 OFF
裝 備
 錯誤輸出(ERROR)

輸出工作
短路保謢
NPN 開路集電極晶體管
•最大流入電流:50 mA
•外加電壓:30 VDC 以下(錯誤輸出和 0V 之間)
•剩餘電壓:1 V 以下(流入電流 50mA時)
檢測到非止常放電時 OFF,工作正常時 ON
裝 備
 放電停止輸入
 (DSC OFF)
短路至 0:放電停止
開路:允許放電 (動作開始)


電源 (POWER) 綠色 LED (通電時 NO)
放電 (DSC) 綠色 LED (放電時 NO)
檢測指示燈 (CHECK) 橙色 LED (放電針有灰塵或磨損時 ON)
錯誤指示燈(ERROR) 紅色 LED (異常放電時 ON)
環境
性能
周圍溫度  0 ~ +50℃ (不可結霜)
周圍溼度 35 ~ 65%RH
耐振動 頻率:10 ~150Hz,雙振幅 0.75mm, X、 Y 和 Z 各方向 2 小時
 材質

外瞉:PPS,罩:不袗,放電針:鎢

 重量 約 120g

功能:
1.造就良好離子平衡
高頻 AC 電源的採用使離子平衡狀態極其穩定。 因為離子平衡不受已有空氣壓力及設定距離的影響,設定以後無需任何繁瑣的調整。







 離子平衡比較
電荷卸載時間(典型)
2.超小型設計可準確卸載小空間內物體的電荷
其主體尺寸超小,為 109x27x28mm,所以可以和其他設備組合並可作為附件安裝。 此外,內置高壓電源,不另佔空間即使空間不大也可安裝。
      
3.無需控制器的功能
所有功能都考慮到工廠使用的簡易,且不需單獨的控制器。

放電停止輸入
 可由外部設備發出信號使
 放電ON/OFF。可用傳感器
 檢測物體以便在需要時產
 生離子。

放電停止輸入
 放電的ON/OFF狀態可通過
 LED 指示確認。還可避免
 諸如電源 ON 但卻沒有放電
 時的一些問題。

應用:

下載PDF檔 (2146KB)
下載操作手冊 (262KB) http://www.nahua.com.tw